第811章 光刻工厂试验成功，颠覆性的技术再

2019年，1月15日。

唐都市半导体材料产业园。

唐都市这两年来，已经开发了诸多的产业园。

半导体产业园，玄武电池产业园等等，这些产业园的出现都是和银河科技有着极大的关系。

可以说如果没有银河科技，就不会有这些产业园的出现。

并且，这些产业园也是真的有技术，有投资，有产业，而不是其他城市，盖几座楼，修几条路，就对外说这是产业园。

这个产业园区平时很低调，低调到很多人都不知道这个产业园里面，有着一个超级大国重器。

这个超级大国重器就是光刻工厂。

在光刻工厂技术被验证具备可实现性的时候，上面就在最短的时间，给银河科技拨了一块500亩的地，来盖光刻工厂。

这块工业用地，完全是免费的。

不仅如此，还给银河科技拨了十个亿的建设资金，作为奖励。

并且，还联系了官方建设团队，把光刻工厂的建设当成了政治任务传了下去。

如此一来，接下来的事情就很简单了。

银河科技只需要给出需求和技术，以及出钱，剩下的全交给官方就行了。

官方出手，速度自然是不同凡响的。

全方位的保障，让建设速度就像是按下了加速键一样，所以，这么大的一个超级高科技工厂，就在短短的时间内完成了建设，并且进入了试投产。

是的，今天就是光刻工厂要进行试投产的日子。

一大早，整个产业园就已经被穿着西服的精壮青年给安保了起来。

唐都市的领导，秦省的领导，以及来自京城的领导。

还有一支来自总台的记者团队，悄然来到了产业园。

光刻工厂控制中心。

能够出现在这里的人并不多。

唐都市大总管吴青松、秦省二总管段证、秦省科技厅总管、京城工信部副总管以及科技部高新司司长等人。

光刻工厂的负责人，则是王东来专门挖来的高级专家梁松。

在原时空，中心正是有了梁松的加入，才在300天内就攻克了14纳米工艺技术的难关，并将中心国际的工艺良品率提升到95%。

这个能力，不可谓不强大。

但就是这么一个顶尖人材，居然在后面，因为企业内部争权夺利，被赶了出去。

这简直就像是一个黑色幽默。

不过，这一时空，王东来就没有给中心国际这个机会了。

在梁松刚脱离竞业限制期之后，就立即亲自上门，把此人挖了回来。

而打动这样的顶尖人才，只有金钱是远远不够的。

但王东来只是用了短短三句话，就打动了梁松，让他坚定内心，选择加入银河科技半导体。

现在，站在指挥中心的梁松，神情之中藏着说不出的激动和亢奋。

如果今天的光刻工厂试投产完成的话，所代表的意义就太重大了。

控制中心的灯光明亮无比，巨大的环形屏幕被分割成二十多个窗口，最中间的大屏幕上有这一个极为醒目的倒计时。

距离启动还有三十分钟！

刘总管站在屏幕前面，手指轻轻地敲在了台面，发出轻微的咚咚声。

“梁博士，昨晚最后一次联调，双工作平台同步误差控制在多少？”

能够出现在这里，刘总管自然是懂一点技术的。

真要是一点都不懂的话，下去视察工作，被人骗了都不知道。

梁孟松作为负责人，下意识地看了一眼王东来，才出声说道：“报告领导，同步误差≤2nm，达到设计指标！”

声音带着一丝沙哑，若是细看的话，就能看到梁松的眼球上的红色血丝。

这大半年来，梁松完全是吃住在了这里。

如果说别人是996上班的话，那么梁松就是007了。

在光刻工厂上，他投入的精力是最大的。

不知道熬了多少个通宵，加了多少班。

要不是王东来专门给梁松配了一支医疗团队，来保证他的身体健康，恐怕早就熬垮了。

可就算是这样，他脸上的疲惫之色依然极为明显。

二总管拍了拍梁松的肩膀，鼓励着说道：“省上一直都很关注这里，到时候会为你们请功的，你们是全省半导体产业的功臣。”

吴青山也跟着表态说道：“梁博士，不要紧张，相信王院士的实力，也要相信你们的能力。”

梁松点了点头，深吸一口气，强行压下心里的激动。

而王东来在一旁看着，神情之中透露出一股强大的自信。

光刻工厂的技术路线，如果按照原时空发展，恐怕几十年内都不可能会实现。

但是，在这个时空，有了他的出手，情况就不同了。

光刻工厂的核心技术，其实说穿了，就是靠着娲在控制。

也就是说，光刻工厂是以现在的技术水平根本无法复现的。

只要王东来愿意，随时都可以撤走娲的控制，从而让光刻工厂失败。

不仅仅是光刻工厂，就连玄武电池也是类似的手段。

狡兔死，走狗烹，飞鸟尽，良弓藏。

这句话，王东来还是知道的。

时间很快过去，就来到了九点钟。

控制中心顿时响起了清晰的指令声音：“各单位注意，光刻工序启动倒计时开始。”

“十！”

“九！”

“八！”

“……”

所有人都下意识地屏住呼吸，目光死死地盯着面前的屏幕。

“激光光源准备！”

“投影物镜聚焦完成！”

“曝光开始！”

随着一个个命令下达，整个工厂都陷入了一种极为严肃而又认真的氛围之中。

光刻技术作为高科技中的高科技，技术含量是极高的。

所以，也就代表着能够出现在这里的工人，文化水平都不可能太低。

最低最低也得是个重本才行。

像是硕士，博士更是一大片。

尤其这可是全球唯一的光刻工厂技术，具备全球唯一性，更是不知道吸引力多少学者专家的目光。

不少人连工资都不想要，甚至还愿意倒贴钱进来，为的就是能够近距离接触这个技术。

这在学术界，可是具备极大的学术价值。

所以，外人都能够想明白的事情，在这里工作的众多员工也很清楚。

此刻毫无疑问就是决定他们命运的关键时刻。

只要光刻工厂成功了，那么他们就能伴随着这个成功，在事业上取得新的成就。

可要是失败，一切休提！

从指挥中心的屏幕上，可以看到每个流程的画面。

这里毕竟是光刻工厂，而不是芯片生产流程，不会从一堆沙子变成芯片开始。

就只见到机械臂把一片12英寸的硅片，缓缓送到固定位置，在这个硅片上所涂抹的光刻胶，正是银河科技自研出来的产品。

包括EDA设计软件，再到掩膜台，这些核心软件以及设备都是银河科技自主研发，突破西方技术完成的。

众人看着屏幕里的硅片，就像是在看稀世珍宝一样，充满了期待。

当晶圆精准对接至双工作台的瞬间，屏幕上的对位误差数字立刻就跳出了一个精准数字。

0.05μm！

这个数字是什么意思呢，相当于头发丝直径的千分之一！

很快，光斑在晶圆表面上开始移动，如同用纳米级的刻刀在绘制电路图案。

小小的一枚芯片，看上去可能还没有小拇指指甲大，但是放到高精显微镜下，就能看到密密麻麻的电路图案。

只有看到这个场景，才会知道芯片上所存在的技术是何等强大。

设备运行发出的低鸣声，在安静无比的指挥大厅里面变得刺耳起来。

只不过，在场的众人都没有嫌弃这个声音，甚至于连呼吸都不敢大声，害怕会有影响。

第一片被曝光完成的晶圆被送到显影机，光刻胶经显影液处理后，电路图案逐渐显影。

当晶圆从设备中送出时，测试主管快步上前，用机械臂将其转移至电子显微镜下。

屏幕上，28nm的晶体管阵列整齐排列，线条边缘光滑如镜，没有一丝毛刺。

“线宽均匀度98.7%！”测试主管的声音带着颤抖，“符合设计标准！”

控制中心里响起第一阵压抑的掌声，随即又迅速安静起来。

因为真正的“大考”还在后面，接下来的蚀刻、离子注入、金属沉积……还有100多道工序，任何一步失误都会让前面的努力功亏一篑。

时间一分一秒过去，晶圆在不同车间流转，控制中心的屏幕上实时更新着每道工序的参数：蚀刻深度误差≤2%，离子掺杂浓度均匀性≥99%，金属布线良率95%……

数据曲线像一条绷紧的弦，时高时低，却始终在合格线以上徘徊。

因为整个流程不是一两个小时就能完成的，所以领导们是专门抽出了一天的时间，留在这里，要亲眼看到光刻工厂的正式投产的情况。

如果出现问题，就要立即找出问题，并解决。

如果成功的话，那就立刻汇报上去，这将会成为又一个领先全球的技术，极大地增强我们的话语权和竞争力。

到了中午的时候，是专门送来的盒饭，而不是专门去外面吃。

就连休息，也是临时征用了工厂的员工休息区。

“下午的化学机械抛光（CMP）是关键，表面平整度要控制在0.5nm以内。”

“别忘了检测金属互联层的接触电阻，这直接影响芯片性能。”

梁松在给下面的流程组长一边讲着技术核心要点，一边回顾着中午的表现，进行复盘。

这个时候，王东来走了过来。

当王东来出现的时候，在场的众人都站了起来。

这倒并不是因为王东来老板的身份，而是他们对于王东来所掌握的技术的钦佩。

光刻工厂的技术核心，完全就是王东来一手完成突破的。

到了现在为止，还有很多技术是他们知其然，不知其所以然的。

看似他们是光刻工厂的技术管理人员，实际上就和按开关的猴子没有多大区别。

说的夸张一点，如果王东来愿意写出一个详细至极的操作手册，那么他们这些人都可以离职了。

随便挑一些记性好，服从性好的员工，背熟操作手册，就按照上面的规定去做，也不见得会比他们做的差。

“老板！”

众人齐声喊道，语气之中有崇拜，有敬畏，还有一丝羡慕。

“好了，大家都坐。”

“今天对于集团，对于你们来说，都是很重要的一天。”

“是骡子是马，拉出来溜溜，光刻工厂前前后后也投入了好几百个亿，成功了，原地翻倍。”

“在我这里，没有失败！”

“早上大家的表现还行，还有很大的进步空间，考虑到这是第一次，我能够理解。”

“下午的时候，你们放平心态，不要考虑太多，就按照平时做的那样去做。”

“技术是不会骗人的，机器是稳定的，所以成功就是成功。”

“给你们说一个消息，所有员工，这个月多发一个月工资作为辛苦费，和项目成功奖励不冲突。”

王东来当老板，自然是懂得该如何激励员工做事。

画大饼，一时有用，信誉破产之后，只能起到反效果。

最有效的就是发钱，咔咔发钱就行。

就算是对钱不怎么看重的人，也不会拒绝老板发钱，做起事来，也会更加上心。

果不其然，在王东来宣布了这个消息之后，众人的神情立即就变得激动兴奋起来。

激励完众人之后，王东来便离开，众人也都很快回到了各自工作岗位上。

下午三点，晶圆进入最后一道工序，晶圆测试。

当探针卡接触到芯片Pad点时，控制中心的空气仿佛凝固了。

屏幕上跳出第一组测试数据：逻辑功能测试：通过

漏电率：0.01μA/mm

最大工作频率：3.2GHz

良率：96.7%

“良品率96.7%！”

看到这个测试数据，测试工程师立即一脸激动地站了起来，声音都因为太过激动而有些破音了。

这一刻，控制中心的安静被瞬间打破。

先是一声压抑不住的欢呼，随即像星火燎原般扩散——年轻的工程师们互相拥抱，有人抹着眼泪笑，有人举起写满参数的笔记本挥舞。

就连各位领导的脸上也不由地露出了如释重负的笑意。

光刻工厂所承载的意义太过巨大了。

不要看只有这几位领导出现在这里，更多的领导都是在暗暗地关注着这里的消息。

现在，这个测试数据一出，虽然还只是第一批，可是已经足够让人放心了。

就算是后面的产品数据不尽如人意，那也只是工艺优化的问题，而不是光刻工厂的技术路线问题。

刘总管快步走到梁松的面前，紧紧地握住梁松的手说道：“梁博士，你们创造了奇迹啊！”

“今天的成绩代表着我们已经打破了西方光刻机的领先地位，我们重新开辟出了新的赛道，为半导体行业发展打开了新的领域，意义重大啊！”

面对刘总管的夸赞，梁松很快就从激动之中清醒过来，下意识地解释道：“领导，我只不过是一个执行者而已，真正提出光刻工厂构思，并完成核心技术突破研发的人是我们老板，他才是功劳最大的。”

随着梁松这句话说出口，立即就让众人把目光放到了王东来的身上。

而这个时候，众人这才注意到王东来的异样。

在所有人都在为这个测试数据而感到高兴的时候，王东来却皱着眉毛，任谁都能看得出来他有些不喜，一时间，倒是让众人生出了兴趣，产生好奇。(本章完)