第1623章 超分辨率光刻
栾文杰的视线凝固在屏幕上最后那个清晰的“Group 11， Element 4”标识上，仿佛时间都要凝滞了。
173nm——
短暂的兴奋尽头过去之后，他不由得开始思考起这个数字背后的深层含义。
衍射极限，是光学系统中由电磁波衍射效应形成的分辨率理论上限，是光的波粒二象性的延伸。
如果往大了说，甚至可以算是现代物理学、乃至现代科学的基石之一。
而刚才发生在眼前的那一幕，似乎轻而易举地就把这块基石给粉碎了。
面对此情此景，任何一个了解过科学史的人都会马上想起一个多世纪以前。
那次粉碎了经典物理体系的进步。
“常院士……”
刚一开口，栾文杰差点被自己干涩的声音给吓到。
喉头滚动了几下之后，才找回原本的感觉。
“你跟我透个底……”他微微凑上前来，小声问道：“咱们这现代物理学的天空上，是不是又飘过来两朵‘乌云’？”
显然，栾文杰试图让自己的问题轻松一些。
但显然失败了。
反倒是常浩南脸上浮现出一丝笑意，半开玩笑地回应道：
“栾主任，我对气象学可没什么研究，更不会预报天气。”
然而，对方的神色反而更加严肃。
“我是认真的，常院士，您应该明白我的意思。”
他向前一步，目光灼灼地盯着常浩南：
“这结果……这已经不是在乌云边缘试探了，如果没有足以撼动现有物理定律的新发现，怎么可能让一块透镜的分辨率……这样轻易地超越了衍射极限？”
常浩南当然能理解对方的震撼。
实际上，在他第一次从理论上推导出这种可能性的时候，也觉得自己和爱因斯坦之间肯定有一个错了。
但后来发现并不是。
俩人都是对的。
“栾主任，您只说对了一半。”他轻轻摆了摆手：“实际在这个系统里，真正负责成像的，并不是传统意义上的‘一块透镜’。”
说罢，他没管栾文杰依旧困惑的眼神，只是对旁边的栗亚波示意：“亚波，把遮光罩撤掉。”
栗亚波立刻上前，小心翼翼地移开了那个黑色的圆柱形遮光罩。
平台上的景象瞬间一览无余。
“从光学模型上来说”常浩南指着暴露出来的核心区域，“是两块透镜，共同构成了这个突破极限的成像系统。”
栾文杰立刻凑近，几乎把脸贴到了光学平台上方，仔细端详着：
一块看似平平无奇、表面光洁的平面透镜。
以及，紧挨在它后面放置的一块……半透明的平板？
“就是它？”栾文杰指着那块平板，又看了看远处的成像屏。
“不不不……”常浩南摇头，“后面这个是成像平板，我说的另一块透镜，实际上是指这个系统中的气体。”
栾文杰似乎有点明白了：
“所以刚才的光，是先经过透镜照射到这块平板上成像，然后平板上的像……再被那个成像屏接收并显示出来？”
“正是如此。”常浩南点头赞许栾文杰的敏锐观察，“当然那个成像屏也可以阻挡光路，以免高强激光束射出测试范围，对其它设备或者人造成影响。”
栾文杰下意识伸出手，想要在透镜和平板旁边比划一下。
但旋即想起这东西恐怕不能乱碰，于是又缩了回去问道：
“那为什么要把成像平板紧贴着透镜放？”
“实际上是有缝隙的，大约1.5微米。”常浩南用手势比划了一个极其微小的距离，“只是肉眼难以分辨罢了。”
他戴上特制的防静电手套，极其小心地取下了那块位于透镜和平板之间的核心平板——那才是真正的成像元件。
然后，开始回答对方最开始的问题。
“衍射极限之所以存在，根本原因在于传统透镜无法将光聚焦到一个小于半波长的区域。”
常浩南将那块特殊的平板捏手中，展示到栾文杰面前：
“但我们的思路是，让光线在一组折射率绝对值相等但符号相反的材料界面上发生‘负折射’。”
他指向透镜和手中的平板：
“具体说，就是让从目标物体上发散出来的光线，在我们这块由负折射率材料制成的平板上实现聚焦，理论上就能绕过衍射极限的束缚，真正实现完美成像。”
说话间，目光扫过屏幕上那不太清晰的173nm分辨率靶标图案。
于是又补充道：
“当然，实际操作中，材料的虚部损耗和界面阻抗不匹配的问题会引入损耗，影响倏逝波的传输距离和最终的分辨力，所以还做不到理论上的完美成像……但把有效成像分辨率压缩到衍射极限的一半左右，就像刚才看到的那样，还是非常轻松的。”
“如果使用频谱宽度更窄、更纯净的光源，结合材料工艺的进一步优化，大概还能进一步推到四分之一。”
栾文杰站在原地感觉大脑里像是经历了一场信息风暴。
常浩南的解释每一个字他都听见了，但那些术语——“负折射”、“倏逝波”、“阻抗匹配”、“虚部损耗”——组合在一起，却形成了一个他难以在短时间内完全理解和消化的全新物理图景。
那种感觉，不是简单的“不懂”，而是认知框架被强行拉伸、甚至局部撕裂的冲击感。
这比单纯看到突破极限的结果更让他心神震动。
足足有半分钟，他只是看着常浩南手中的那块平板，又看看屏幕上清晰的图像，嘴唇动了动，却没能发出声音。
作为工建委主任他深知这种颠覆性技术的战略价值，但正因如此，那份源于未知的沉重感才更加强烈。
不过，哪怕这周围没有外人，如此目瞪口呆的样子也不适合维持太长时间。
“咳咳……”
栾文杰清了清嗓子，准备暂时略过光学理论部分，将话题拉回到更务实的层面：
“常院士，我明白了……嗯，至少明白这意义非凡。”他指指屏幕，“这个测试结果……我能不能拷贝一份带回去？向上级汇报时，这个直观的证据比任何语言都更有说服力。”
常浩南却摆摆手：
“栾主任，这个测试作为原理验证是成功的，但作为向非专业人士展示的材料，还是太抽象了。”
华夏的决策层多数是理工科出身不假，但几十年远离一线技术工作，未必还能想起来多少具体的知识。
他把手中的镜片放回原位，继续道：
“我计划用我们基于负折射原理制作的透镜，和一块传统PMMA（有机玻璃）透镜，同时对一幅专门设计的、包含200nm线宽特征的复杂微结构图案进行曝光成像，然后用原子力（AFM）显微镜对二者的成像结果进行表面形貌扫描。”
“到时候，把AFM扫描出来的三维形貌图并排放在一起——一边是细节清晰、边缘锐利的图像，另一边是糊成一团、根本分辨不出结构的‘马赛克’……视觉冲击力会更强。”
这个方案显然经过了深思熟虑，哪怕不懂物理的人，也能一眼看出差别。
“好！这个好！”栾文杰想象着那两幅对比鲜明的图像，紧绷的神经终于舒缓了一些， “非常直观！那我就等着你这边的AFM对比图了！”